自動ステージ  Symetrie ヘキサポッド ステージ SIRIUS

Symetrie社について

フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は6軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。

高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS

SIRIUS は高精度位置決めヘキサポッドです。 500kgの物体を高分解能で調整できます。 航空、光学、宇宙のテストおよび調整段階で最高の基準を満たしています。 垂直、水平、逆さまなど、あらゆる向きで使用できます。

仕様

XYストローク ±150mm
Zストローク ±100mm
チルト <±16°
回転(ZΘ) ±20°
繰り返し精度(XYZ) XY±3μm Z±2μm
繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±10μrad Rz±17.5μrad
サイズ φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm
耐荷重 500kg

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